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光学平台的控制系统及结构
来源: 发表时间:2018/1/25 9:50:49

随着先进的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。
      光学平台采用表面铁磁不锈钢,芯部蜂窝结构支撑的结构。这种结构,不但充分的发挥了铁磁不锈钢材料刚性好,温度膨胀系数小,耐腐蚀的优点,而且提高了平台的硬重比,增加了刚性,降低了变形量,提高了抗静力矩能力。
       控制静力矩的作用,光学平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率,从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下,具有较高硬重比的平台可以在最小的重量下产生最小的变形,增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的光学平台可以充分的提高硬重比,达到提高系统性能的目的。
      控制振动的作用,将系统组装成动态的刚性结构可以保证系统内部的相对稳定性,且可以降低在外界的影响下产生共振的几率,提高系统的稳定性。
       控制温度变化,随着时间的延续,不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如,避免在平台下放置散热设备,隔绝热源设备和硬件,如光源、火焰等。

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